产品名称：SU-8光刻胶硅片模具

产品规格：4英寸、5英寸、6英寸可选

尺寸规格：定制，客户只需提供图纸即可，中芯启恒提供排版及掩膜加工服务。

1. SU-8光刻胶硅片模具的加工工艺流程如下：

SU-8模具加工过程通常可以划分为9个主要步骤，按照模具加工的顺序如下所示：

(1) 准备硅片

(2) 旋涂负性SU-8光刻胶

(3) 软烤（光刻胶的第一次烘烤）

(4) 边缘光刻胶的去除（可选）

(5) 紫外曝光

(6) 曝光后烘烤（光刻胶的第二次烘烤）

(7) 显影

(8) 硬烘烤（光刻胶的第三次烘烤）（可选）

(9) 校验检查

2.中芯启恒PDMS芯片模具加工能力介绍：

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