Kayaku SU8 3050光刻胶
产品名称:KAYAKU SU-8 3050负性环氧树脂光刻胶
产品型号:KAYAKU SU-8 3050
产品说明书:请联系客服获取
2018年日本化药株式会社(NIPPON KAYAKU KABUSHIKI KAISHA)收购美国Microchem为子公司,2019年MicroChem Corp(MCC)的光刻胶产品品牌更改为Kayaku Advanced Materials, Inc.(KAM)
KAYAKU SU-8 3000系列是高对比度、环氧基负性光刻胶,专为微电子领域的应用而设计。 SU-8 3000是SU-8 2000 的改进配方,多年来一直被 MEMS 制造商广泛使用。 SU-8 3000 通过改进配方,提高了胶膜在基片上的附着力并降低了涂层的应力。SU-8 3000的粘度范围使其在单涂层中可以形成 0.2 - 120 µm 的膜厚。 SU-8 3000具有出色的成像特性,能够产生非常高的、甚至超过 5:1 的纵横比结构。SU-8 3000在360 nm以上具有非常高的光透射率(推荐选用Cchip-0019型光刻机),这使其适合在非常厚的薄膜中形成近似垂直侧壁的结构。
在微流控芯片加工中,SU-8光刻胶主要用于软光刻工艺,在硅片上加工SU-8光刻胶结构作为模具,用快速模塑法倒模获得PDMS微流控芯片。
SU-8 2000和3000系列光刻胶,根据粘度的不同,划分为以下型号。不同型号,厂家给出的匀胶厚度范围如下表。用户可根据所需旋涂的胶膜的厚度选取对应的型号,下表红色标记的型号是常用的型号。
Microchem SU-8 2000系列 | 单次旋涂膜厚范围 |
SU-8 2000.5 | 0.5-0.8um |
SU-8 2002 | 2-2.9um |
SU-8 2005 | 5-8um |
SU-8 2007 | 7-13um |
SU-8 2010 | 10-20um |
SU-8 2015 | 13-38um |
SU-8 2025 | 20-80um |
SU-8 2035 | 30-120um |
SU-8 2050 | 40-170um |
SU-8 2075 | 60-240um |
SU-8 2100 | 100-260um |
SU-8 2150 | 190-650um |
SU-8 3005 | 5-10um |
SU-8 3010 | 8-15um |
SU-8 3025 | 22-60um |
SU-8 3035 | 30-80um |
SU-8 3050 | 44-100um |
KAYAKU SU-8 2000.5/2002/2005/2015/2025/2050/2075/2100/3010/3025/3050匀胶曲线如下: