产品名称：KAYAKU SU-8 2075负性环氧树脂光刻胶

产品型号：KAYAKU SU-8 2075

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2018年日本化药株式会社（NIPPON KAYAKU KABUSHIKI KAISHA）收购美国Microchem为子公司，2019年MicroChem Corp（MCC）的光刻胶产品品牌更改为Kayaku Advanced Materials, Inc.(KAM)

KAYAKU SU-8 3000系列是高对比度、环氧基负性光刻胶，专为微电子领域的应用而设计。 SU-8 3000是SU-8 2000 的改进配方，多年来一直被 MEMS 制造商广泛使用。 SU-8 3000 通过改进配方，提高了胶膜在基片上的附着力并降低了涂层的应力。SU-8 3000的粘度范围使其在单涂层中可以形成 0.2 - 120 µm 的膜厚。 SU-8 3000具有出色的成像特性，能够产生非常高的、甚至超过 5:1 的纵横比结构。SU-8 3000在360 nm以上具有非常高的光透射率（推荐选用Cchip-0019型光刻机），这使其适合在非常厚的薄膜中形成近似垂直侧壁的结构。

在微流控芯片加工中，SU-8光刻胶主要用于软光刻工艺，在硅片上加工SU-8光刻胶结构作为模具，用快速模塑法倒模获得PDMS微流控芯片。

SU-8 2000和3000系列光刻胶，根据粘度的不同，划分为以下型号。不同型号，厂家给出的匀胶厚度范围如下表。用户可根据所需旋涂的胶膜的厚度选取对应的型号，下表红色标记的型号是常用的型号。

KAYAKU SU-8 2000.5/2002/2005/2015/2025/2050/2075/2100/3010/3025/3050匀胶曲线如下：