免打孔树脂模具
免打孔树脂模具
产品名称:免打孔树脂模具
1. 免打孔树脂模具简介
在微流控领域,加工PDMS材质的芯片,一般采用翻模工艺,需要首先加工浇筑PDMS所用的母模。母模的材质一般选用SU-8胶模具、纯硅刻蚀模具、PMMA精雕模具或者金属模具,这些材质的模具翻模后的PDMS需要手动或者机械方式,在进出样口的位置打孔,操作繁杂,且效率低。
为了解决上述问题,且提高模具的寿命,中芯启恒公司特研制了免打孔树脂模具。如下图(a)所示是免打孔树脂模具实物,图(b)所示是是由(a)翻模得到的PDMS结构。
(a) (b)
图 免打孔树脂模具及PDMS结构实物
2. 免打孔树脂模具的特性
(1) 可重复使用,使用寿命优于SU-8模具和纯硅模具
(2) 结构和模具是一体成型的,不易脱落
(3) 翻模后得到的PDMS无需打孔,加工效率高
(4) 耐磨性能较好,可清洗
3. 免打孔树脂模具的代工能力介绍
(1) 图形排布最大版面积:直径80mm圆;
(2) 图形最小线宽线距:20um;
(3) 进出样孔最小尺寸:1.5mm,高度3mm;
(4) 进出样孔最小圆心距离:3mm;
(5) 建议PDMS厚度3mm,翻模温度60℃,固化时间90min;
注:若图形设计参数不在以上范围,可联系公司销售人员具体评估。
4. 免打孔树脂模具的典型应用
基于微流体条码标记的空间多组学测序技术(DBiT-seq技术)所用的PDMS芯片带有几十甚至上百个进出样口,免打孔树脂模具已成功运用到空间多组学芯片的加工,大大提高了加工的效率。