中芯启恒SU-8光刻胶显影液
产品名称:中芯启恒SU-8光刻胶显影液
SU-8光刻胶显影液简介:
推荐使用淹没并轻摇的操作方式,有利于胶膜结构稳定;显影至除曝光区域外其他区域胶膜全部溶解,重复多次,多次更换新的显影液,直到看到衬底洁净表面则显影完成。可以使用氮气枪配合显影,具体显影时间视膜厚和实际显影效果决定。
中芯启恒SU-8光刻胶显影液(中芯启恒 SU-8 2000和3000系列光刻胶的通用显影液),SU-8光刻胶是负性光刻胶,因此该显影液可以溶解掉基材表面未曝光的SU-8胶。
显影时间可以根据匀胶厚度设定,采用不同型号的SU-8胶,可以参照光刻胶说明书上表格选择显影时间。若需光刻胶的说明书,请跟销售人员联系。
SU-8光刻胶显影后的硅片实物图: