1. 国产SU-8光刻胶增粘剂简介:
国产SU-8光刻胶增粘剂添加了专有的聚合物和表面活性剂等成分。其主要作用是提高SU-8光刻胶在基底表面(如金,铜和石英、硅片等)的附着力。
2. 国产SU-8光刻胶增粘剂的特点:
l 可以方便、快速、洁净、安全地去除
l 较薄的涂层即可获得较好的效果
l 显著加强胶层和基底的附着力
3. 国产SU-8光刻胶增粘剂的优势:
l 无高危险的湿化学物质货反应性气体
l 减少或消除底侵作用
l 无需沉积层
l 改善对基材(如金,铜和石英、硅片等)的粘附力
4. 国产SU-8光刻胶增粘剂的工艺指南:
说明:
第1步:将适量增粘剂倒在硅片等基底表面。使用匀胶机进行旋涂,建议参数如下:第一阶段转速500rpm,旋涂5秒,加速度100r/s;第二阶段转速2500rpm,旋涂25秒,加速度300r/s。旋涂结束后,使用烘胶台95℃,烘烤4分钟,取下待冷却至室温后进行光刻胶的旋涂操作。
第2步:参考SU-8光刻胶的说明书,进行SU-8光刻胶的旋涂操作。
第3步:参考SU-8光刻胶的说明书,进行SU-8光刻胶的显影操作,在这一步胶层下的增粘剂层也会被显影掉。