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SU-8光刻胶增粘剂

  • 国产SU-8光刻胶增粘剂添加了专有的聚合物和表面活性剂等成分。其主要作用是提高SU-8光刻胶在基底表面(如金,铜和石英、硅片等)的附着力...
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1. 国产SU-8光刻胶增粘剂简介:

国产SU-8光刻胶增粘剂添加了专有的聚合物和表面活性剂等成分。其主要作用是提高SU-8光刻胶在基底表面(如金,铜和石英、硅片等)的附着力。

2. 国产SU-8光刻胶增粘剂的特点:

可以方便、快速、洁净、安全地去除

较薄的涂层即可获得较好的效果

显著加强胶层和基底的附着力

3. 国产SU-8光刻胶增粘剂的优势:

无高危险的湿化学物质货反应性气体

减少或消除底侵作用

无需沉积层

改善对基材(如金,铜和石英、硅片等)的粘附力

4. 国产SU-8光刻胶增粘剂的工艺指南:

 步骤.jpg

说明:

1:将适量增粘剂倒在硅片等基底表面。使用匀胶机进行旋涂,建议参数如下:第一阶段转速500rpm,旋涂5秒,加速度100r/s;第二阶段转速2500rpm,旋涂25秒,加速度300r/s。旋涂结束后,使用烘胶台95℃,烘烤4分钟,取下待冷却至室温后进行光刻胶的旋涂操作。

2步:参考SU-8光刻胶的说明书,进行SU-8光刻胶的旋涂操作。

3步:参考SU-8光刻胶的说明书,进行SU-8光刻胶的显影操作,在这一步胶层下的增粘剂层也会被显影掉。

 


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