对准键合仪

ALI/20对准键合仪主要用于对pdms、pmma、硅、玻璃等材料之间的相互对准；采用先进的机械移动平台和高分辨率显微放大CCD,双视野观察。样片可在XYZ三维以及水平旋转四个方向进项位置调节，最大程度满足对准精度的需求。工作台全部结构使用铝制材料，最大程度降低产品自身的调节误差，是解决多种微结构对准贴合的好帮手。

    该对准键合仪由：双视场对准显微镜、对准工作台（可XYZΘ调节）、显示器、真空泵等组成

产品技术参数：

1.适应键合样品材料：玻璃、PDMS、硅片等。

2.对准精度：±5um

3.最大对准间隙：≥0.5mm

4.对准间隙设定精度：10um

5.适应键合样品尺寸：10mm×10mm ~ 75mm×75mm

6.适应样品最大厚度：15mm

7.对准调节行程：X：±8mm Y：±8mm  Z：20mm Θ：±5°

8.对准灵敏度：X：0.1um  Y：0.1um  Z：1um Θ：0.005°

9.对准采用双视场对准显微镜：通过CCD+显示器对准，光学合像，光学+电子放大

10.对准吸盘可拓展，用于不同尺寸的样品使用，标准样品可快速对准。吸盘载物台非常形状可定制不同尺寸。