产品名称：小巧型匀胶机

产品型号：EZ4-S（铝合金外壳）

1. EZ4-S小巧型匀胶机简介：

EZ4-S匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。EZ4-S匀胶机设计结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4-S采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

2. EZ4-S小巧型匀胶机性能参数：

(1) 转速范围：100-9999rpm

(2) 转速分辨率：1rpm

(3) 加速度可调范围：100-9999rpm/s

(4) 最大单步步长：3000s

(5) 时间分辨率：1s

(6) 宽电压适用：AC100~230V输入，中英文可选

(7) 单步或多步运行可选，最多可设置5组5步程序

(8) 标配10mm、25mm、2英寸三种规格真空载物盘

(9) 外形尺寸：210mm（W）*265mm（D）*213mm（H）

3. EZ4-S小巧型匀胶机特性优点：

(1) 外形小巧，适合手套箱内操作

(2) 耐腐蚀透明盖，恒定扭矩定位铰链

(3) 一体开模内腔，易拆卸清洗，方便更换

(4) 液晶文本显示，彩色面膜按键，简单易用

(5) 加减速度可控可调，可设置多步程序运行控制

(6) 直流无刷电机，最大推荐旋涂尺寸：4寸圆形底物

(7) 铝合金外壳（EZ4-S），耐腐蚀PP外壳可选（EZ4-S-PP）