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EZ4匀胶机

  • 产品名称:EZ4 小巧型匀胶机  产品内容:EZ4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易...
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产品名称:EZ4 小巧型匀胶机

 

 

产品内容:

EZ4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。

EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。EZ4

采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。

产品性能参数:

支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圆晶)

速度可调范围:100-10000rpm

加速度可调范围:100-10000rpm/s

转速分辨率:1rpm

转速精度:<±5rpm

可编程5组5步程序

宽电压输入:AC100-230V

产品特性优点:

75W 直流无刷电机,单片机控制

高清晰文本显示器

可单步和多步匀胶操作

PP耐腐蚀内腔,可更换

铝合金阳极氧化外壳,美观大方

耐溶剂PC透明盖

多角度定位铰链设计

HDPE真空吸盘

产品外型尺寸:250mm(D)*210mm(W)*204mm(H)


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