当前位置:首页  /  芯片加工设备  /  匀胶、烤胶
midimg

EZ4-S小巧型匀胶机(铝合金外壳)

  • EZ4-S匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。EZ4-S匀胶机设计结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作...
  • 产品详情

产品名称:小巧型匀胶机

产品型号:EZ4-S铝合金外壳

1. EZ4-S小巧型匀胶机简介

EZ4-S匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。EZ4-S匀胶机设计结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作EZ4-S采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。

2. EZ4-S小巧型匀胶机性能参数:

(1) 转速范围:100-9999rpm

(2) 转速分辨率:1rpm

(3) 加速度可调范围:100-9999rpm/s

(4) 最大单步步长:3000s

(5) 时间分辨率:1s

(6) 宽电压适用:AC100~230V输入,中英文可选

(7) 单步或多步运行可选,最多可设置55步程序

(8) 标配10mm25mm2英寸三种规格真空载物盘

(9) 外形尺寸:210mmW*265mmD*213mmH

3. EZ4-S小巧型匀胶机特性优点:

(1) 外形小巧,适合手套箱内操作

(2) 耐腐蚀透明盖,恒定扭矩定位铰链

(3) 一体开模内腔,易拆卸清洗,方便更换

(4) 液晶文本显示,彩色面膜按键,简单易用

(5) 加减速度可控可调,可设置多步程序运行控制

(6) 直流无刷电机,最大推荐旋涂尺寸:4寸圆形底物

(7) 铝合金外壳(EZ4-S耐腐蚀PP外壳可选(EZ4-S-PP


现在免费咨询
咨询我们