1. 产品简介：

1）全新型载物盘控温加热、匀胶同时工作。

2）HDPE高分子内腔，PC透明盖，钣金外壳。

3）可靠的隔热设计，确保设备电极及元件安全。

4）安全电压发热部件，确保操作安全可靠。

5）可升级添加一路精确计量自动点胶功能。

6）该款控温型匀胶机（带加热功能的匀胶机）尺寸满足手套箱过渡舱进出。

2. 产品参数：

1）转盘加热控温范围：室温-150℃

2）温度分辨率：0.1℃

3）控温精度：<±0.5℃（稳定后控温精度）

4）转盘温度均匀性：<±2%

5）转速范围：100-5000rpm

6）转速分辨率：±1rpm

7）加速度可调范围：100-5000rpm/s

8）最大单步旋涂时长：3000s

9）时间分辨率：0.1s

10）最多可编程100组100步程序，更多可扩展

11标配可调卡爪载物盘（10-30mm方片或圆片可调），其他规格可定制

外形尺寸：280mm（W）*404mm（D）*270mm（H）

3.推荐应用：

1）常规晶圆光刻胶旋涂

2）钙钛矿薄膜制备研究