产品名称：膜厚测量仪

产品型号：F300

1. 膜厚测量仪的特点

1）采用光谱干涉原理进行测量，具有非接触、无破坏、快速等特点；

2）可在真空环境使用；

3）可与大行程工件台配合，实现大面积膜厚自动测量。

2.  膜厚测量仪的技术参数：

(1) 测量范围*1（N=1.5）： 10um~1mm；

(2) 测量重复性*2（1倍RMS）：5nm；

(3) 测量绝对精度：50nm或0.4%；

(4) 测量时间：4~100ms；

(5) 测试材料：Si 或透明或半透明薄膜材料；

(6) 光斑尺寸：直径1.5mm；

(7) 通信接口：USB3.0；

(8) 光斑尺寸和通信接口可定制；