F300膜厚测量仪
产品名称:膜厚测量仪
产品型号:F300
1. 膜厚测量仪的特点
1)采用光谱干涉原理进行测量,具有非接触、无破坏、快速等特点;
2)可在真空环境使用;
3)可与大行程工件台配合,实现大面积膜厚自动测量。
2. 膜厚测量仪的技术参数:
(1) 测量范围*1(N=1.5): 10um~1mm;
(2) 测量重复性*2(1倍RMS):5nm;
(3) 测量绝对精度:50nm或0.4%;
(4) 测量时间:4~100ms;
(5) 测试材料:Si 或透明或半透明薄膜材料;
(6) 光斑尺寸:直径1.5mm;
(7) 通信接口:USB3.0;
(8) 光斑尺寸和通信接口可定制;