产品名称：树脂模具(中芯启恒Cchip系列)

产品型号：4英寸、6英寸

产品用途：作为翻模PDMS芯片的母版，可多次浇筑PDMS芯片，使用寿命长。

定制说明：客户提供图纸、SU8光刻胶模具、PDMS芯片结构等其中的任意一项均可加工成树脂模具。

1. Cchip微流控树脂模具简介

PDMS微流控芯片一般是指使用PDMS这种硅橡胶加工流道，然后跟玻璃或者PDMS片材键合形成的封闭管路。在PDMS微流控芯片加工工艺中，PDMS流道层通常采用倒模工艺加工，需要先加工PDMS倒模使用的模具，传统的模具材质有SU-8光刻胶模具、纯硅刻蚀模具、金属模具、塑料模具等。其中SU-8模具使用寿命短，纯硅刻蚀模具加工成本高，金属模具和塑料模具可加工的最小线宽大，精度低。为了解决以上问题，中芯启恒自主研发并推出了Cchip微流控树脂模具。

Cchip微流控树脂模具可在高温条件下使用，具备优异的耐化学腐蚀性，同时具备突出的防磨损性能。Cchip微流控树脂模具可加工最小线宽5um的结构，在微流控芯片加工领域，可替代SU-8光刻胶模具和纯硅刻蚀模具，用于翻模PDMS微流控芯片。相较于传统的SU8模具，纯硅模具，金属模具，大大降低了成本，且提高了模具耐用性。

2. Cchip微流控树脂模具的优点

(1) 与常用的SU-8光刻胶模具相比，Cchip微流控树脂模具上的微结构和基底是一体成型的，不会发生脱落。作为翻模PDMS流道的母版，可重复使用，翻模次数≥100次。

(2) 与常用的纯硅刻蚀模具相比，Cchip微流控树脂模具表面光滑，肉眼可见光泽感，浇筑PDMS时易脱模。

(3) 可在-25~130℃的环境下使用，能够耐高达150℃高温。

(4) 尺寸精度高，目前可加工最小线宽5um的结构。

(5) 出现脏污时可以反复清洗，吹干，重复使用，实现高效率生产。

(6) 尤其适用于微流控芯片批量加工，助力PDMS芯片低成本生产。 

3. Cchip微流控树脂模具定制流程

Cchip微流控树脂模具采用光刻工艺加工而成，加工的工艺流程包含光刻和模具加工两部分。因此定制该模具，需要客户提供芯片设计图纸，所需费用包含光刻费用和Cchip微流控树脂模具两部分。若客户订购多个相同结构的Cchip微流控树脂模具，光刻费用仅需支付一次即可。

举例：

客户下单1个Cchip微流控树脂模具，费用为：光刻费X元、模具加工费Y元，共计X+Y元；客户6个月内（超过6个月需要跟工程师确认下），想要再定制相同结构的Cchip微流控树脂模具，仅需支付模具加工费Y元即可。

若客户直接提供SU8光刻胶模具或者PDMS芯片结构层也是可以加工树脂模具的，详情可咨询公司客服人员。

4. 树脂模具成品展示