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SU-8光刻胶

  • 产品名称:美国Microchem SU-8光刻胶 产品内容: SU- 8光刻胶是一个高对比度,环氧基光刻胶专为微加工和微电子等的应用需要的厚胶,化学和热稳定的图像. SU-8 2000是一种改进的配方的SU- 8,SU-...
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产品名称:美国Microchem SU-8光刻胶

 

产品内容:

 

SU- 8光刻胶是一个高对比度,环氧基光刻胶专为微加工和微电子等的应用需要的厚胶,化学和热稳定的图像. SU-8 2000是一种改进的配方的SU- 8,SU-8已被广泛用于通过MEMS制造多年。使用更快的干燥技术,极性更大的溶剂的系统改进了涂层质量,并增加了处理量. SU- 8 2000有12个标准粘度. 膜厚度的0.5到> 200微米可以通过一个单一的涂层过程实现。曝光和随后的膜热交联的部分不溶于液体显影剂。 SU- 8光刻胶有优秀的成像特性,并能产生非常高的纵横比结构。 SU- 8光刻胶具有非常高的光传输性高于360纳米,这使得它非常适合在很厚的薄膜附近的垂直侧壁成像。SU-8光刻胶很适合永久性应用中成像,固化并留在设备上.

SU-8 光刻胶 特点:

• 高纵横比成像

• 0.5至>200μm的膜厚在单一的涂层

• 改进涂料性能

• 快速干燥增加处理量

• 近紫外线(350-400nm)的处理

• 垂直侧壁

Microchem SU-8  2025-2075-2150  同等转速,厚度逐渐提高,可根据自己实验需求选择具体的型号。目前SU-8光刻胶有2000系类和3000系列两类产品,3000系列升级后对光刻胶的粘附力,产品精度等性能进一步完善。

 

如需产品详细资料,可在下载中心查找。

 

 


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