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115P-光刻胶

  • 产品名称:正性国产光刻胶 115P  产品内容:  概述: SUN-115P紫外正性光刻胶,具有高感光度、高分辨率、高产出率、及良好的工艺宽容度。可广泛用于集成电路、发光二极管、液晶显示器等领域,SUN-115...
  • 产品详情

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产品名称:正性国产光刻胶 115P

 

产品内容:

 

 概述:

SUN-115P紫外正性光刻胶,具有高感光度、高分辨率、高产出率、及良好的工艺宽容度。可广泛用于集成电路、发光二极管、液晶显示器等领域,SUN-115P采用安全性溶剂。 

 

参考工艺条件: 

涂布:旋涂,膜厚3μm3000r)。 

前烘:电热板100℃×90s 

曝光:i-线、g-线、汞灯全谱。80-100mj/cm2 

显影:25℃,2.38%TMAH、浸渍60s 

后烘:电热板120℃×2min 

 

使用说明: 

1. 涂胶:静态旋涂和动态喷洒 

2. 保存条件:密封,黄光或暗室保存,远离热源与火种。 

3. 保质期: 6个月。 

4. 使用安全:通风,穿戴必要的防护用品。 

5. 灭火方法:二氧化碳,干粉,沙土。 

 

紧急救护措施 

1. 吸入: 转移至新鲜空气处,必要时进行人工呼吸或就医 

2. 皮肤接触:肥皂水清洗后自来水冲洗 

3. 眼睛接触:流动清水冲洗20分钟以上,必要时就医 

4. 误食: 直接就医 

 


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