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YT-A100正性光刻胶

  • YT-A100 为正性光刻胶,适用于湿法、干法刻蚀和金属电镀工艺。该款光刻胶耐受性好,去胶容易,是一种可以实现超厚膜、高对比度、高感光度的正性光刻胶,适用于半导体制造及 GMR 磁头制造...
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YT-A100 为正性光刻胶,适用于湿法、干法刻蚀和金属电镀工艺该款光刻胶耐受性好,去胶容易是一种可以实现超厚膜、高对比度、高感光度的正性光刻胶,适用于半导体制造及 GMR 磁头制造。

特性:

1)均匀性高:较佳的涂布均匀性;

2)光度高:高感光度;

3)粘附力好:超强的粘附力;

4) 剥离效果好:去胶干净,无任何残留。



   推荐工艺:

1.png

   

   旋涂曲线:

2.2.png

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   耐温形貌:

基底:Si

前烘:100℃300sec 

曝光:300500mJ/cm2 

显影:180300sec


坚膜1.png坚膜2.png

   耐干法刻蚀

耐干法刻蚀1.png耐干法刻蚀2.png



储存条件:

YT-A100 系列产品必须在 010阴冷处存放。远离光线氧化剂、热量和火源储存。不要储存在阳光下不使用的时候,保持容器密封。 

注意事项: 

1注意防火 

2使用的地方通风

3避免吸入蒸汽或薄雾

4操作时应戴上化学护目镜、化学手套及适当的防护服 

5 如果它与眼睛和皮肤接触,必须用大量的水冲洗掉,立即联系医生处理

6使用前请参阅产品材料安全数据表。


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