YT-A100正性光刻胶
YT-A100 为正性光刻胶,适用于湿法、干法刻蚀和金属电镀工艺。该款光刻胶耐受性好,去胶容易,是一种可以实现超厚膜、高对比度、高感光度的正性光刻胶,适用于半导体制造及 GMR 磁头制造。
特性:
1)均匀性高:较佳的涂布均匀性;
2)感光度高:高感光度;
3)粘附力好:超强的粘附力;
4) 剥离效果好:去胶干净,无任何残留。
推荐工艺:
旋涂曲线:
耐温形貌:
基底:Si
前烘:100℃,300sec
曝光:300~500mJ/cm2
显影:180~300sec
耐干法刻蚀
储存条件:
YT-A100 系列产品必须在 0~10℃阴冷处存放。远离光线、氧化剂、热量和火源储存。不要储存在阳光下,不使用的时候,保持容器密封。
注意事项:
1)注意防火;
2)使用的地方通风;
3)避免吸入蒸汽或薄雾;
4)操作时应戴上化学护目镜、化学手套及适当的防护服;
5) 如果它与眼睛和皮肤接触,必须用大量的水冲洗掉,并立即联系医生处理;
6)使用前请参阅产品材料安全数据表。