F200膜厚仪介绍
1. 膜厚测量仪的特点
1)采用光谱干涉原理进行测量,具有非接触、无破坏、快速等特点;
2)可在真空环境使用;
3)可与大行程工件台配合,实现大面积膜厚自动测量。
系统结构 光谱分布
2. 膜厚测量仪的技术参数:
1)膜厚仪:测量范围: 20nm—80μm;
2)光谱范围:380nm—950nm;
3)测量重复性*1(RMS):0.4nm;
4)测量绝对精度*2(与椭偏仪对比):2nm或1%(以最大值为准);
5)入射角度:90°;
6)测试材料:透明或半透明薄膜材料;
7)光斑尺寸:标准1.5mm,20μm(选配);
8)测量时间:100ms—4ms;
9)通信接口:USB2.0;
10)测试膜层层数:单层
11)材料库:有
3. 膜厚测量仪的测试数据
4. 膜厚测量仪的设备组成:
测试主机、光纤、校正件、测量头、夹持装置、设备箱、手提电脑。
5. 膜厚测量仪的用途:
加工PDMS微流控芯片时,测量SU-8光刻胶硅片模具上,SU-8胶层的实际厚度
ITO玻璃膜厚测量
玻璃减反膜厚度测量
手机面板膜厚测量
有色眼科透镜测量
太阳能镀膜玻璃
透明或半透明衬底上的各种膜厚度测量
光学滤光片厚度测量
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