产品名称：小巧型匀胶机

产品型号：EZ6-S

1. EZ6-S小巧型匀胶机简介：

EZ6-S匀胶机适用于给小碎片至6英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。EZ6-S匀胶机设计结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ6-S采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

2. EZ6-S小巧型匀胶机性能参数：

(1) 转速范围：100-12000rpm

(2) 转速分辨率：1rpm

(3) 加速度可调范围：100-30000rpm/s

(4) 最大单步步长：3000s

(5) 时间分辨率：0.1s

(6) 单步或多步运行可选，可编程10组10步程序

(7) AC110V和AC220V两款可选，中英文界面可选

(8) 标配10mm、25mm、55mm三种规格真空载物盘

(9) 外形尺寸：295mm（W）*366mm（D）*270mm（H）

3. EZ6-S小巧型匀胶机特性优点：

(1) 工业级BLDC电机与单片机控制

(2) 4.3寸全彩触摸屏人机界面操作

(3) 超高分子材料内腔，不锈钢外壳

(4) 特殊设计的防进胶、防堵胶功能

(5) 可升级一路精确计量自动点胶功能

(6) 带真空开关和盖子开关安全互锁功能

(7) 最大推荐旋涂底物尺寸：6寸圆形底物