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EZ6-S小巧型匀胶机

  • EZ6-S是一款设计结构紧凑、简单易用,触摸屏操作,性能优异的灵巧型匀胶机。EZ6-S外型尺寸较小,适合直接放于手套箱内操作。最大可旋涂6寸圆形基底。提供多步编程旋涂工艺运行,最多可存贮10组10步程序,还可升级自动点胶功能...
  • 产品详情

产品名称:小巧型匀胶机

产品型号:EZ6-S

1. EZ6-S小巧型匀胶机简介

EZ6-S匀胶机适用于给小碎片至6英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。EZ6-S匀胶机设计结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作EZ6-S采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。

2. EZ6-S小巧型匀胶机性能参数:

(1) 转速范围:100-12000rpm

(2) 转速分辨率:1rpm

(3) 加速度可调范围:100-30000rpm/s

(4) 最大单步步长:3000s

(5) 时间分辨率:0.1s

(6) 单步或多步运行可选,可编程1010步程序

(7) AC110VAC220V两款可选,中英文界面可选

(8) 标配10mm25mm55mm三种规格真空载物盘

(9) 外形尺寸:295mmW*366mmD*270mmH

3. EZ6-S小巧型匀胶机特性优点:

(1) 工业级BLDC电机与单片机控制

(2) 4.3寸全彩触摸屏人机界面操作

(3) 超高分子材料内腔,不锈钢外壳

(4) 特殊设计的防进胶、防堵胶功能

(5) 可升级一路精确计量自动点胶功能

(6) 带真空开关和盖子开关安全互锁功能

(7) 最大推荐旋涂底物尺寸:6寸圆形底物

 


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