URE-2000/35L光刻机
主要技术参数:
(1)曝光面积:100mm×100mm;
(2)照明不均匀性: £3%( f100mm范围);
(3)分辨力:1.0um(胶厚2.0um的正胶,365nm波长)
(4)对准精度:≤±0.8μm;
(5)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;
(6)样片尺寸:直径f15mm-- f100mm、厚度0.1mm--6mm;
(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; q:±6°;
(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
(9)曝光光源:紫外LED(进口);
(10)曝光波长:365nm;
(11)曝光强度:≥20mW/cm2;
(12)曝光定时:倒计时方式(0.1s—9999.9s任意设定).
技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。
(1)曝光头系统包括:
◆ 进口紫外LED光源模块;
◆ LED光源整形模块;
◆ XYZ光源位置调节台;
◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79个透镜)、场镜组、反射镜组);
◆ 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
◆ 掩模样片相对运动台(XY);
◆ 转动台;
◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;
◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;
◆ 承片台4个(f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸各1个);
◆ 掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸各1个)。
(3)CCD对准显微镜系统包括:
◆ 对准光源LED灯;
◆ 双目双视场对准显微镜主体;
◆ 目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个);
◆ 物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个);
◆ CCD部件;
◆ 22英寸宽屏液晶显示器。
(4)电控系统包括:
◆ 单片机控制系统;
◆ 紫外LED电源模块;
◆ 控制柜桌。
(5)气动系统包括:
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6).辅助设备配置:
◆ 真空泵1台(干泵);
◆ 静音空气压缩机1台;
◆ 配套接管10m;
(7).备品备件
◆ 对准光源灯4只(LED-1W,不包括机器自带的两只);