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URE-2000/35A光刻机

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产品名称:URE-2000/35A光刻机

 

产品介绍:

1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)

采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用350W进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。

2.技术参数


曝光面积:6英寸

曝光波长:365nm

分辨力:1-1.2um(胶厚2 um的正胶)

对准精度:±0.8um

掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

样片尺寸:直径f15mm-- f150mm(各种不规则片) 厚度0.1mm--6mm

曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

照明不均匀性: 6%f150mm 范围)

双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍

物镜三对:4倍、10倍、20倍

目镜三对:10倍、16倍、20倍

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口,也具备接近模块接口

掩模相对于样片运动行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±

最大焦厚:350mmSU8胶,用户提供检测条件)

光源平行性:3.5 º

曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面温度<35 º

单层曝光一键完成

采用球气浮自动找平

汞灯功率:350W(直流,进口

3.外形尺寸1200mm(长)´900mm(宽) ´1750mm(高)

4.配置


1)曝光头


冷光椭球镜

350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

XYZ汞灯调节台

冷却风扇

光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2


2)对准工件台


掩模样片整体运动台

掩模样片相对运动台

转动台

样片调平机构,三点自动完成

样片调焦机构,电机自动调

基片抽拉式上下机构

承片台4个:f15mm 3英寸、4英寸、6英寸(可按用户要求增减)

掩模夹4个:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸(可按用户要求增减)


3)对准显微镜


光源(配备品2只)、 电源

双目双视场对准显微镜主体

目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

CCD对准系统,21寸液晶显示器


4)电控系统


汞灯触发电源(350W直流汞灯)

单片机控制系统

控制柜桌 


5)气动系统


气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

电磁阀驱动

气动仪表 


6)其他附件


真空泵一台

空压机一台

管道


7)技术资料


使用维修说明书

显微镜使用说明书

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