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URE-2000/35A光刻机

  • 产品介绍:1.技术特征—非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便),采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能。...
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1.技术特征

1非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)

2采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用350W进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。

2.技术参数


1曝光面积:6英寸

2曝光波长:365nm

3分辨力:1-1.2mm(胶厚2 mm的正胶)

4对准精度:±0.8mm

5掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

6掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

7样片尺寸:直径f15mm-- f150mm(各种不规则片)                 

                  厚度0.1mm--6mm

8曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

9具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

10照明不均匀性: 6%f150mm 范围)

11双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800

物镜三对:4倍、10倍、20

目镜三对:10倍、16倍、20

12调平接触压力通过传感器保证重复

13数字设定对准间隙和曝光间隙

14具备压印模块接口,也具备接近模块接口

15掩模相对于样片运动行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±

16)最大焦厚:350mmSU8胶,用户提供检测条件)

17)光源平行性:3.5 º

18曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面温度<35 º

19单层曝光一键完成

20采用球气浮自动找平

21汞灯功率:350W(直流,进口


3.外形尺寸:1200mm(长)´900mm() ´1750mm(高)

4.配置


4.1. 曝光头


1冷光椭球镜

2350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

3XYZ汞灯调节台

4冷却风扇

5光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2


4.2. 对准工件台


1掩模样片整体运动台

2掩模样片相对运动台

3转动台

4样片调平机构,三点自动完成

5样片调焦机构,电机自动调

6基片抽拉式上下机构

7承片台4个:f15mm 3英寸、4英寸、6英寸(可按用户要求增减)

8掩模夹4个:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸(可按用户要求增减)


4.3. 对准显微镜


1光源(配备品2只)、 电源

2双目双视场对准显微镜主体

3目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

4物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

5CCD对准系统,21寸液晶显示器


4.4. 电控系统


1汞灯触发电源(350W直流汞灯)

2单片机控制系统

3控制柜桌 


4.5. 气动系统


1气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2电磁阀驱动

3气动仪表 


4.6. 其他附件


1真空泵一台

2空压机一台

3管道


4.7. 技术资料

1使用维修说明书

2显微镜使用说明书


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