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URE-2000/35AL光刻机

  • 产品介绍:主要技术参数:(1)曝光面积:150mm×150mm; (2)照明不均匀性: £4%( f150mm范围);(3)分辨力:1.0um(365nm波长)(4)对准精度:≤±0.8um...
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产品名称:URE-2000/35AL光刻机

 

产品介绍:

主要技术参数:

1)曝光面积:150mm×150mm

2)照明不均匀性: £4%( f150mm范围);

3)分辨力:1.0um(365nm波长)

4)对准精度:≤±0.8μm;

5)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、7英寸;

6)样片尺寸:直径f15mm-- f150mm、厚度0.1mm--6mm;

7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:±6°;

8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm

9)曝光光源:紫外LED(进口);

10)曝光波长:365nm;

11)曝光强度:≥15mW/cm2

12)曝光定时:倒计时方式(0.1s—9999.9s任意设定).

技术构成与配置

设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。

1)曝光头系统包括:

◆ 进口紫外LED光源模块;

◆ LED光源整形模块;

◆ XYZ光源位置调节台;

◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79个透镜)、场镜组、反射镜组);

◆ 冷却风扇。

2)对准工件台系统包括:

◆ 掩模样片相对运动台(XY);

◆ 转动台;

◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;

◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;

◆ 承片台4个(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸各1个);

◆ 掩模夹4个(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸各1个)。

3)CCD对准显微镜系统包括:

◆ 对准光源LED灯;

◆ 双目双视场对准显微镜主体;

◆ 目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个);

◆ 物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个);

◆ CCD部件;

◆ 22英寸宽屏液晶显示器。

4)电控系统包括:

◆ 单片机控制系统;

◆ 紫外LED电源模块;

◆ 控制柜桌。

5)气动系统包括:

◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。

(6).辅助设备配置:

真空泵1台(干泵)

 静音空气压缩机1台;

配套接管10m;

(7).备品备件

◆ 对准光源灯4只(LED-1W,不包括机器自带的两只)


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