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URE2000/17光刻机

  • 产品介绍:1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm  3.分辨力:1.5um(胶厚2 um的正胶)4.对准精度:±1um。...
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产品名称:URE-2000/17光刻机

 

产品介绍:

1.技术参数

曝光面积:4英寸

曝光波长:365nm

分辨力:1.5um(胶厚2 um的正胶)

对准精度:±1um

掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

样片尺寸:直径f15mm-- f100mm 

               厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

照明不均匀性: 5%f100mm 范围)

双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍

物镜三对:4倍、10倍、20倍

目镜三对:10倍、16倍、20倍

掩模相对于样片运动行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6

汞灯功率:200W(直流)

曝光能量密度:6mW/cm

2.外形尺寸:650mm(长)´600mm(宽) ´900mm(高)

3.配置


1)曝光头


200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

XYZ汞灯调节台

光学系统

冷却风扇


2)对准工件台


掩模样片整体运动台

掩模样片相对运动台

转动台

样片调平机构,手动

样片调焦机构,手动

承片台3个(f50mm Ø75mm  Ø100mm  

掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

掩模抽拉式上下机构


3)对准显微镜

光源(配备品2只)、电源

双目双视场对准显微镜主体

目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

CCD(台湾)

21寸液晶显示器


4)电控系统

汞灯触发电源(200W直流汞灯)

单片机控制系统

控制机箱 


5)气动系统

气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

电磁阀驱动

气动仪表 


6)其他附件

真空泵一台

管道


7)技术资料

使用维修说明书

      l 显微镜使用说明书


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