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URE2000/17光刻机

  • 产品介绍:1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm  3.分辨力:1.5um(胶厚2 um的正胶)4.对准精度:±1um。...
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1.技术参数

1曝光面积:4英寸

2曝光波长:365nm

3 分辨力:1.5um(胶厚um的正胶)

4对准精度:±1um

5 掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

6掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

7样片尺寸:直径f15mm-- f100mm 

                    厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

8曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

9照明不均匀性: 5%f100mm 范围)

10双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800

物镜三对:4倍、10倍、20

目镜三对:10倍、16倍、20

11掩模相对于样片运动行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6

12汞灯功率:200W(直流)

13曝光能量密度:6mW/cm

2.外形尺寸:650mm(长)´600mm(´900mm(高)

3.配置

3.1. 曝光头

1200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

2 XYZ汞灯调节台

3光学系统

4冷却风扇

3.2. 对准工件台

1掩模样片整体运动台

2掩模样片相对运动台

3转动台

4样片调平机构,手动

5样片调焦机构,手动

6承片台3个(f50mm Ø75mm  Ø100mm  

7掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

8掩模抽拉式上下机构

3.3. 对准显微镜

9光源(配备品2只)、电源

10双目双视场对准显微镜主体

11目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

12物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

13CCD(台湾)

1421寸液晶显示器

3.4. 电控系统

1汞灯触发电源(200W直流汞灯)

2单片机控制系统

3控制机箱 

3.5. 气动系统

1气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2电磁阀驱动

3气动仪表 

3.6. 其他附件

1真空泵一台

2管道

3.7. 技术资料

1使用维修说明书

2显微镜使用说明书

 

 


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