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URE-2000/25光刻机

  • 产品介绍:1. 曝光面积:4英寸;2. 曝光波长:365nm;3. 分辨力:1.2um(胶厚2 um的正胶);4. 对准精度:±0.8um ...
  • 产品详情

1.技术参数

1光面积:4英寸

2曝光波长:365nm

3分辨力:1.2um(胶厚um的正胶)

4对准精度:±0.8um

5掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

6掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

7样片尺寸:直径f15mm-- f100mm(各种不规则片厚度0.1mm--6mm

8曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

9照明不均匀性: 3% f100mm  范围)

10双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800

物镜三对:4倍、10倍、20

目镜三对:4倍、10倍、20

11掩模相对于样片运动行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±

12最大焦厚:350mmSU8胶,用户提供检测条件)     

13光源平行性:3.5 º

14曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º

15汞灯功率:350W(直流,进口

2.外形尺寸1200mm(长)´900mm(´1750mm(高)

3.配置

3.1. 曝光头

1冷光椭球镜

2350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

3XYZ汞灯调节台

4冷却风扇

5光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

3.2. 对准工件台

1掩模样片整体运动台

2掩模样片相对运动台

3转动台

4样片调平机构, 手动

5样片调焦机构,手动

6承片台3个(Ø50mm Ø75mm  Ø100mm

7掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

8基片抽拉式上下机构

3.3. 对准显微镜

1光源(配备品2只)、   电源

2双目双视场对准显微镜主体

3目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

4CCD21英寸液晶显示器

5物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

3.4. 电控系统

1汞灯触发电源(350W直流汞灯)

2单片机控制系统

3控制箱

3.5. 气动系统

1气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2电磁阀驱动

3气动仪表 

3.6. 其他附件

1真空泵一台

2空压机一台

3管道

3.7. 技术资料

1使用维修说明书

2显微镜使用说明书

 


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