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纯硅模具

  • 以单晶硅为材质,利用高能束轰击衬底得到需要的高深宽比结构,该方法可以弥补光刻胶在高深宽方面的不足之处...
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以单晶硅为材质,利用高能束轰击衬底得到需要的高深宽比结构,该方法可以弥补光刻胶在高深宽方面的不足之处


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